一、什么是靶材绑定?靶材绑定的适用范围、流程?

　　绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要有三种的方式：压接、钎焊和导电胶。

　　1.压接：采用压条，一般为了提高接触的良好性，会增加石墨纸、Pb或In皮;

　　2.钎焊：一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/cm2，钎料常用In、Sn、In-Sn;我司采用铟焊绑定技术。

　　3.导电胶：采用的导电胶要耐高温，厚度在0.02-0.05um

　　二、绑定的适用范围

　　技术上来说表面平整可进行金属化处理的靶材都可以用我司铟焊绑定技术绑定铜背靶来提高溅射过程的散热性、提高靶材利用率。

　　建议绑定的靶材：

　　ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;

　　锡、铟等软金属靶;

　　靶材太薄、靶材太贵的情况等。

       关于靶材绑定的相关问题

　　但下列情况绑定有弊端：

　　1.熔点低的靶材，像铟、硒等，金属化的时候可能会变软变形;

　　2.贵金属靶材，一是实际重量易出现分歧，二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料，建议垫一片铜片。

　　三、背靶的选择

　　对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右

　　导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好;

　　强度足够：太薄，易变形，不易真空密封。

　　结构要求：空心或者实心结构;

　　厚度适中：3mm左右，太厚，消耗部分磁强;太薄，容易变形。

　　四、铟焊绑定的流程

　　1.绑定前的靶材和背板表面预处理

　　2.将靶材和背板放置在钎焊台上，升温到绑定温度

　　3.做靶材和背板金属化

　　4.粘接靶材和背板

　　5.调整粘接位置

　　6.降温和后处理

　　铟焊的熔化温度是160°以上

       以上内容来自靶材绑定厂家为你整理，更多资讯请关注苏州罗纳尔材料科技有限公司网站。http://www.szronal.com/